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激光混合气分类及用途,大家来聊一聊。

时间:2021-08-25浏览量:417

气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国家建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。

由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在,将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。

如果将氦氖激光作为第1代气体激光,二氧化碳激光是第2代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第3代激光。下图列出常见的氦氖激光混合气、二氧化碳混合气、氪氟激光混合气、密封束混合气和准分子激光混合气的组成和具体用途。

 

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